氢(H)和硅(Si)形成的最简单的化合物是甲硅烷(SiH4)的电子式如下图所示:
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些更高级的硅氢化合物，通式为SinH2n+2。其中，甲硅烷最为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷。
甲硅烷(SiH4)的结构与甲烷相似．SiH4分子为非极性分子。SiH4分子中H原子的1s轨道与Si原子的sp3轨道重叠形成Si-H,σ键,甲硅烷能与硝酸银发生如下反应：SiH4+8AgNO3+2H2O=8Ag↓+SiO2↓+8HNO3，该反应中氢元素被氧化，则SiH4充当还原剂。
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